Betway必威东盟体育电子参加2020北京微电子国际研讨会暨IC WORLD学术会议
2021年01月19日
11月18日,2020北京微电子国际研讨会暨IC WORLD学术会议在北京亦庄盛大开幕。
本届会议以“开创芯启程,领跑芯未来”为主题,汇聚众多行业专家和学者,围绕中国集成电路和微电子产业发展与资本运作、创新创业环境营造、产业高端要素整合等话题,开展广泛交流,为我国及北京市集成电路产业发展提供更加广阔的思路。Betway必威东盟体育作为半导体湿法处理设备及污染检测服务供应商,应邀出席本次会议。
在“集成电路装备发展助力数字强基”论坛上,Betway必威东盟体育董事长兼CTO温子瑛女士做了《IC制造过程污染监控与检测》主题报告,介绍了目前行业两种常用的晶圆表面金属污染提取技术对比,以及现有的污染检测仪器的工作原理。半导体制造过程中发生的痕量金属污染可以造成半导体器件的性能改变,影响生产良率。对比传统的晶圆表面金属污染提取方法,无锡华瑛原创的DTL方法则不受晶圆表面疏水性和亲水性的限制,可选用各种无机和有机配方来溶解和收集晶圆表面的金属、非金属及有机污染。
近几年,随着国内半导体制造业的快速发展和制造技术提高,对污染检测需求也随之快速提升。华瑛从2018年开始专门为国内半导体行业提供半导体制造污染检测设备及其检测服务,全面提升了国内晶圆表面污染检测水平。