Betway必威东盟体育电子国内首台全自动金属污染提取检测设备顺利出机
2021年07月26日
2021年7月16日，Betway必威东盟体育首台全自动金属污染检测设备顺利启运发往客户。当天，无锡华瑛举行了出厂仪式。设备交付的客户为国内一流先进制程晶圆代工厂。
此次交付客户的Ultra DTL-MS300型12寸全自动晶圆表面金属污染提取检测设备是该系列国内首台设备，主要用于硅片制造、芯片制造中晶圆表面金属污染的提取和检测。12寸全自动晶圆表面金属污染提取检测设备拥有完全自主知识产权，与同类进口产品相比，具有多项领先技术和指标，是真正意义上的高端制造半导体国产化设备。
无锡华瑛的全自动金属污染提取检测设备的出货，彻底打破了国外设备在此领域的长期垄断地位，填补了国内的行业空白，将为国内大硅片材料生产、芯片制造生产线，对于晶圆表面金属污染在线自动监测，提供稳定、高效、先进的整体解决方案。
