Betway必威东盟体育12寸全自动金属污染提取检测设备顺利出机
2022年05月18日
2022年5月15日，Betway必威东盟体育生产的12寸全自动金属污染提取检测设备HY-U1traDTL-ms300按时交付客户。
此设备标准配置2个Load port，可使用12英寸标准FOUP或FOSB，在自动取样的基础上集成了ICP-MS质谱仪，可实现全自动的晶圆级金属元素提取和定性定量检测，满足客户所需，帮助客户提升产品良率，达到量产目标。
Betway必威东盟体育基于自主创新的动态薄层晶圆表面化学处理技术（DTL），开发出拥有更强的提取能力和提取效率的金属污染检测产品，检测后的晶圆样片可用于重复检测，降低生产线的污染监控成本，真正实现“科技与环保共行”理念。
（供稿：范诗）
