Betway必威东盟体育全自动边缘腐蚀设备顺利交付
2023年03月27日
近期，Betway必威东盟体育生产的两台四腔体全自动边缘腐蚀设备按时交付客户。
两台设备标准配置2个Load port，分别适用于12英寸与6英寸晶圆，是针对12寸及6寸晶圆材料制造及集成电路芯片制程需求，研发出的能满足客户需求，比现有技术处理效果更好，成本更低，技术全球领先的晶圆边缘腐蚀设备。
全自动边缘腐蚀设备基于自主创新的“动态薄层晶圆表面化学处理技术（简称DTL技术）”，能提高对化学腐蚀气液在晶圆表面流动的精准控制，实现晶圆边缘的精准腐蚀，同时降低生产过程中使用的化学处理液体和气体，真正实现“科技与环保共行”理念。
Betway必威东盟体育的边缘腐蚀设备，以全球首创的DTL技术，取代了行业采用的贴膜、吸盘等传统技术，并且以近乎零排放的业界标准，成为中国半导体制造的绿色先行者。
（供稿：徐璐）
