Betway必威东盟体育电子入选2023年江苏省首台（套）重大装备认定名单！
2023年09月06日
近日，2023年江苏省首台（套）重大装备拟认定名单进行公示，Betway必威东盟体育的Ultra DTL-ms300动态薄层晶圆表面污染提取测量设备成功入围！
江苏省首台（套）重大装备是指具备自主知识产权的高端装备，经过创新，其品种、规格或技术参数等有重大突破，需要满足产品自主可控程度高、掌握装备生产的核心技术和关键工艺、在设计与制造技术等方面具有标志性突破或根本性改进、关键零部件安全可控、整机性能和核心技术指标达到国内领先或国际同类装备先进水平等基本条件。
Ultra DTL-ms300动态薄层晶圆表面污染提取测量设备主要用于晶圆衬底、半导体集成电路先进制造领域。该设备使用Betway必威东盟体育全球首创的动态薄层技术（DTL），不仅能够实现常规表面金属、体金属提取检测，还能实现多步提取、贵金属检测及碳化硅晶圆检测，检出限低于1E8 atoms/cm²。相较于传统的VPD提取检测方法，该设备还具有高通量、不受亲疏水材料限制、腐蚀提取一腔完成、低交叉污染风险、扫描液配方可自主选择等特点。
目前该产品已成功导入国内FAB龙头企业，并获得多项重复性订单，实现了我国在高端半导体制造行业全自动晶圆表面污染提取测量设备的国产替代。
Betway必威东盟体育电子能荣获江苏省首台（套）重大技术装备认定，这是政府对公司在技术创新和设备研发方面的肯定和表彰。公司将以此次认定为契机，继续加大技术创新和设备研发的力度，推出更多具有自主知识产权和自主品牌的新产品，为江苏省产业升级和高质量发展做出更大的贡献。
