据中国电子专用设备工业协会统计，中国大陆 56 家主要半导体设备制造商在 2020 年完成半导体设备销售收入 242.90 亿元，同比增长 38.7%；总利润为 51.92 亿元，同比增长 80.5%。其中，集成电路设备总销售收入为 96.77 亿元，同比增长 59.0%。
金存忠表示，2020 年中国半导体设备销售收入前 10 家单位完成销售收入 192.12 亿元，占 56 家半导体设备制造商销售收入总额的 79.1%。在前 10 家单位中，北方华创以 43.91 亿元的销售收入排在第一位，同比增长 54.5%。
在 2021 年上半年的销售收入排名前 10 的半导体设备公司中，北方华创仍然以 27.35 亿元排在首位。另外，华峰测控也以 3.24 亿元的销售收入跻身前 10 榜单。
金存忠表示，国产设备不仅销售额和利润正在快速增长，在创新层面也不断有新的产品进入产业化阶段，例如北方华创的 12 英寸电感道等离子体干法金属刻蚀机、盛美股份的 3D 硅通孔电镀设备、中微股份的深紫外 LED MOCVD 设备等。
不过，金存忠也指出，国产设备在全球范围内市场占有率仍然较低，且在国内的市占率提升缓慢。2020 年中国半导体设备（56 家）在全球市场占有率仅为 5.2%，在中国大陆市场占有率也只有 17.3%，与 2019 年基本相同。
另外，国产设备在集成电路关键领域仍需依赖进口。金存忠表示，虽然已经有国产光刻机研制成功，但相关产品目前尚未进入集成电路晶圆量产生产线。而在已经进入晶圆量产生产线的国产设备中，晶圆制造量测设备、化学气相沉积设备、离子注入机、引线键合设备、探针测试台与国际同类设备都还有较大差距，市场占有率较低。
本文转载自《今日半导体》微信公众号，原文发布于2022年3月28日。
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