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金属污染提取检测设备
2022年04月29日
1.1 设备用途
本设备主要用于晶圆表面金属沾污的提取检测，采用按一定配比化学液与晶圆表面物质发生化学反应，把其表面上的污染物溶解并提取到化学液中来，并自动进入ICP-MS进行金属元素定性定量检测。
1.2 工作原理
基于创新的动态薄层晶圆表面化学处理技术，其工作方式是把半导体晶圆放置在一个封闭的超微型化学反应腔室内，通过对腔室特殊结构的设计，使进入腔室内的化学气体和液体在晶圆表面形成一层化学流体薄层，与晶圆表面发生化学和物理反应，达到对晶圆表面污染提取的效果。
1.3 设备特点
①疏水表面与亲水表面均可提取
②能提取金属、化学残留、有机污染
③表面金属、体金属均可提取
④提取速度快
⑤可在线联机ICP-MS，实现在线检测
⑥可采用多次提取与分步提取技术，快速找到污染源
