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DTL技术是Dynamic Thin Layer的缩写，中文意思为“动态薄层”技术。即将晶圆放置于表面精密加工后的腔体中，腔体与晶圆待处理表面形成薄层通道。在该通道中通入特定的化学气液，对晶圆表面进行处理的技术。