导体单晶硅锭有哪些制作方法？
2022年07月31日
从制造过程可分为CZ法、MCZ法及FZ法三种。
1.CZ法工艺成熟可拉制大直径硅锭，但受坩埚熔融带来的氧等杂质浓度高，存在一定杂质分布，相对于MCZ和FZ法，生长的硅锭质量不高，但仍是生产大直径硅锭的主要方法。
2.MCZ法是在CZ法基础上发展而来，通过外部施加强磁场使生长的单晶硅锭质量更好，能得到均匀、低氧的大直径硅锭。但MCZ设备较CZ设备复杂得多，造价、生产成本也大幅提高。MCZ法是生产高品质大直径硅锭的主要方法。
3.FZ法与CZ、MCZ法相比，去掉了坩埚，因此没有坩埚带来的污染，能拉制出更高纯度、无氧的高阻硅，是制备高纯度、高品质硅锭的方法。但因存在熔融区，因此拉制硅锭的直径受限。FZ法生产的硅锭直径比CZ、MCZ法小得多。
