什么是晶圆再生？
2022年12月26日
晶圆再生是指对晶圆制程中用过的控挡片进行回收处理使其达到新片标准。由于全新的控、挡片价格过高，晶圆厂会将使用过的控片和挡片进行回收加工再次使用。具体来说：
控片作用：用来监控机台的制程能力是否稳定、生产环境是否洁净。通过使用控片可以对离子注入、薄膜沉积、光刻、刻蚀、研磨、清洗及扩散等工艺中的电阻率、薄膜沉积速率、刻蚀速率、研磨速率、均匀性、颗粒、金属污染等进行监测。
挡片作用：主要是维持机台的稳定，使用对象包括炉管、暖机挡片、传送挡片等。炉管中，挡片被用来隔绝工艺条件较差的部分，以及填充产品不足时空出的位置，对炉管内的气流进行阻挡分层，并让温度均匀分布。
