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尾气处理（Scrubber）设备
2022年04月29日
1.1 设备用途
用于半导体厂离子注入机含砷废气排放前处理。
1.2 工作原理
空气中砷及其化合物（除砷化氢外）用浸渍微孔滤膜采集，消解后，碑被硼氢化钠还原成砷化氢，在原子化器中，生成的砷基态原子吸收193.7m波长，发射出原子荧光，测定原子荧光强度，进行定量。
1.3 设备特点
①没有明火、无尘室内不产生火源
②节省能源、没有高耗能的需求
③不需要耗用水资源，没有废水处理问题
④无害排放，妥善处理废料，不影响地球环境
